|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Механизмы модификации и разрушения CFx-пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремниятезисы доклада
- Авторы: Соловых А.А., Воронина Е.Н.
- Сборник: Материалы Международного молодежного научного форума «ЛОМОНОСОВ-2025» / Отв. ред. И.А. Алешковский, А.В. Андриянов, Е.А. Антипов, Е.И. Зимакова. [Электронный ресурс] – М.: МАКС Пресс, 2025
- Тезисы
- Год издания: 2025
- Издательство: ООО "МАКС Пресс"
- Местоположение издательства: Москва
- Добавил в систему: Соловых Александр Алексеевич