|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Модульное оборудование для установок химического газофазного осаждения тугоплавких покрытийстатья Исследовательская статья
- Авторы: Гончаров О.Ю., Файзуллин Р.Р.
- Журнал: Вопросы атомной науки и техники. Серия: Материаловедение и новые материалы
- Том: 127
- Номер: 1
- Год издания: 2025
- Издательство: Акционерное общество "Высокотехнологический научно-исследовательский институт неорганических материалов им. академика А.А. Бочвара"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 66
- Последняя страница: 76
- Аннотация: Разработан набор универсальных модулей по компоновке оборудования дляхимического газофазного осаждения покрытий. На базе разработанныхмодулей собрано три лабораторные исследовательские установки дляосаждения покрытий на плоские образцы, трубы и изделия сложной формы.Получены покрытия α-Ta и β-Ta с помощью нового безводородногонизкотемпературного метода осаждения и покрытия из ZrN с применениемтрадиционного метода. Получены покрытия из нитрида циркония толщинойдо 30 мкм https://vniinm.tvel.ru/upload/iblock/7ba/%D0%92%D0%90%D0%9D%D0%A2%201%20(127)%202025.pdf
- Добавил в систему: Гончаров Олег Юрьевич