Hot carbon nanoparticles in plasma volume during the plasma-assisted chemical vapor deposition of diamond films

Авторы: Kirillov E.A., Minakov P.V., Lopaev D.V., Rakhimov A.T.
Журнал: Technical Physics Letters
Том: 51
Номер: 5
Год издания: 2025
Издательство: Pleiades Publishing, Ltd
Местоположение издательства: Road Town, United Kingdom
Первая страница: 33
Последняя страница: 35
Оригинальные версии: Горячие углеродные наночастицы в объеме плазмы при плазмохимическом осаждении алмазных пленок
DOI: 10.61011/TPL.2025.05.61038.20225
Аннотация: In the present paper, it is shown that the appearance of continuous Planck radiation in the emission spectrum of microwave plasma, during the plasma-assisted chemical vapor deposition of diamond films, may be associated with the formation of carbon nanoparticles in its volume. According to the spectrum recorded in the near infrared wavelength range, the temperature of these particles was determined to be ∼ 2600 ± 100 K. The obtained result indicates the possibility of the existence of carbon nanoparticles in the plasma’s hot area
Добавил в систему: Кириллов Егор Андреевич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА