Comparison of acid generation in EUV lithography films of poly(4-hydroxystyrene) (PHS) and noria adamantyl ester (Noria-AD(50))статья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 июня 2015 г.