Аннотация:Обсуждаются проблемы, специальные вопросы прецизионного мониторинга малоплотных нано-дисперсных слоёв, а также низкоплотных полимерных слоёв, в том числе с включением металлических наночастиц. Имеется ряд задач, в которых используются подобные слои; среди основных: эффективная конверсия лазерного излучения в рентгеновское, повышение устойчивости сжатия и увеличение нейтронного выхода. Такие слои и покрытия могут использоваться и в качестве конструкционных слоёв. Исследования и измерения с паспортизацией подобных слоёв проводятся в Нейтронно-физическом отделе ФИАН достаточно длительное время [1,2]. Для контроля подобных слоёв используются методы микрорадиографии в мягком (3-8) кВ рентгеновском излучении, причём для получения достаточно высокого разрешения изображения (микроны) требуется экспозиции от десятков минут до нескольких часов и применение специальных приспособлений [3]. Преодолен ряд трудностей при работе с микро-количествами веществ в микрообъёме. Кроме того, для прецизионного мониторинга использованы: оптические методы, сканирующая электронная микроскопия и рентгеновской томография с программой обработки изображений [3,4]. Общепризнано, что точность мониторинга, который постепенно, с течением времени, совершенствуется, прямо влияет на достоверность результатов эксперимента и планирования дальнейших исследований [4,5]. Измерения важны для сопровождения экспериментов по уменьшению плотности слоёв, целях диагностики, что актуально и часто требуется для текущих и будущих научных работ. Значительное внимание уделяется измерениям с использованием микро-томографии, это позволяет более точно видеть микроструктуру слоя [6].