Аннотация:Проведены количественные исследования процесса формирования тонких пленок в условиях облучения медленными ионами инертных газов, и установлены закономерности влияния параметров ионного облучения на структуру и рост тонких пленок. Созданы физические основы ионной технологии пленочных материалов с заданной структурой и свойствами, безмасочного управления геометрией (рисунком) тонких слоев.