Аннотация:Аддитивные технологии демонстрируют возможность создания деталейс высоко сложной геометрией, включая элементы с внутренними полостями,решетчатыми структурами и топологически оптимизированными формами .В технике зачастую принципиальное значение имеет качество поверхностидетали. 3d сплавы обладают поверхностью с высокой степенью шероховатостии пористости. В данной работе мы исследовали эволюцию рельефа поверхностисплавов Ti6Al4V и AlSi10Mg под действием облучения ускореннымикластерными ионами Ar c энергией 10 кэВ при различных углах паденияпучка. Показано, что при нормальном падении пучка происходит значительноесглаживание поверхности, среднеквадратичная шероховатость уменьшается с6.2 нм до 0.89 нм. Наклонное облучение приводит к образованиюволнообразного рельефа. При этом обнаружено отсутствие выраженноговлияния неоднородной микроструктуры, присущей 3d сплавам наформирующейся рельеф поверхности.