|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Изгибные интерференционные полосы в брэгговской геометрии - новый высокочувствительный метод исследования дефектов поверхности в кремнии, Сборник трудов международной школы - коференциистатья
- Авторы: Суворов Э.В., Смирнова И.А.
- Сборник: Сборник трудов международной школы - коференции "Кремний 2016"
- Год издания: 2016
- Место издания: Институт физики полупроводников СО РАН Новосибирск
- Первая страница: 34
- Последняя страница: 35
- Аннотация: Предложен новый высокочувствительный метод для исследования локальных деформаций поверхности, обусловленных дефектами кристаллов. Метод основан на анализе формы «интерференционных деформационных полос» в геометрии брэгговской дифракции рентгеновских лучей.
- Добавил в систему: Суворов Эрнест Витальевич