Исследование изменения параметров тонкопленочных структур в процессе ионной имплантациистатья

Работа с статьей


[1] Исследование изменения параметров тонкопленочных структур в процессе ионной имплантации / С. С. Медведева, Д. А. Коива, А. А. Шемухин, П. Н. Черных // Вестник Балтийского федерального университета им. И. Канта. — 2014. — № 4. — С. 7–13. Исследовано изменение параметров тонкопленочных структур в процессе ионной имплантации. С помощью метода рентгеновской рефлектометрии были определены толщины тонкопленочных структур до и после имплантации. Методом рентгеновской дифрактометрии была установлена кристаллическая структура пленок, оценен средний размер зерна, а также, на основе метода решения уравнения Вульфа-Брэгга была выявлена экспериментальная постоянная решетки. Продемонстрирована возможность использования методики контролируемой ионной имплантации для изменения размеров зерен формируемых структур.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть