|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
МОДЕЛИРОВАНИЕ И ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В CH4/H2 СМЕСИ ПРИ ОСАЖДЕНИИ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОКстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКДата последнего поиска статьи во внешних источниках: 27 января 2018 г.
- Авторы: Миронович К.В., Манкелевич Ю.А., Волошин Д.Г., Дагесян С.А., Кривченко В.А.
- Журнал: Физика плазмы
- Том: 43
- Номер: 8
- Год издания: 2017
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 689
- Последняя страница: 702
- DOI: 10.7868/S0367292117080091
- Аннотация: Проведено численное двумерное моделирование плазмы разряда постоянного тока в CH4/H2 смеси в режиме осаждения наноструктурированных углеродных пленок с явным учетом релаксации катодного пучка электронов. Рассчитаны распределения концентраций компонент, температуры газа, и рассмотрены ключевые процессы плазмохимической кинетики, определяющие, в том числе распределение метильных радикалов над подложкой, концентрация которых на несколько порядков превышала концентрации других углеводородных радикалов, что указывает на их доминирующую роль в росте наноструктурных углеродных пленок. Верификация модели была проведена на основе сравнения экспериментальных оптических эмиссионных профилей излучающих компонент H(n=3), C2*, CH*, CN*, величины разрядного напряжения и теплоотвода с рассчитанными концентрациями возбужденных компонент, напряжением и тепловыми потоками из плазмы на электроды и стенки реактора, соответственно. При этом была выявлена важная роль процессов диссоциативного возбуждения молекул H2, C2H2, CH4, HCN и процессов ион-электронной рекомбинации в генерации излучающих компонент, в первую очередь, в холодных приэлектродных областях.
- Добавил в систему: Волошин Дмитрий Григорьевич