Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ "СУХОГО" ТРАВЛЕНИЯ ZRO2 В ПЛАЗМЕ BCL3: ЭФФЕКТ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ
статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Авторы:
Ефремов А.М.,
Бетелин В.Б.
,
Квон К.Х.
Журнал:
Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника
Номер:
1(193)
Год издания:
2024
Издательство:
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники"
Местоположение издательства:
Москва
Первая страница:
40
Последняя страница:
52
DOI:
10.7868/S2410993224010044
Добавил в систему:
Стамов Любен Иванович