|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
АППАРАТНАЯ ФУНКЦИЯ ОТКЛИКА ДЕТЕКТОРА ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ И КОНТРАСТ ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА ОБРАЗЦОВ В СКАНИРУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
- Авторы: Рау Э.И., Зайцев С.В.
- Журнал: Приборы и техника эксперимента
- Номер: 4
- Год издания: 2024
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Номер статьи: 18
- DOI: 10.31857/S0032816224040166
- Аннотация: Приводятся формулы для расчета коэффициента отражения обратно рассеянных электронов взависимости от материала (атомного номера Z), т.е. химического состава образца, и энергиипервичных облучающих электронов EB. Приводится расчет детектируемого сигнала обратнорассеянных электронов в зависимости от Z, EB и функции отклика F полупроводниковых детекторови детекторов на основе микроканальных пластин. Результаты расчетов сравниваются с результатамиэкспериментальных измерений. Проведен сравнительный анализ контраста изображений составаобразцов, получаемого для различных типов детекторов при различных EB.
- Добавил в систему: Зайцев Сергей Владимирович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | файл статьи в ПТЭ №4 2024 | 16-Рау.pdf | 515,6 КБ | 17 февраля 2025 [ZaytsevSV] |