Аннотация:Зарядка диэлектрических мишеней под воздействием электронного луча сильно
затрудняет проведение диагностики поверхности методами электронной спектроскопии и
микроскопии, поэтому исследования этого процесса является актуальной задачей.
Проведенные нами ранее эксперименты показали, что на кинетику зарядки сильно
влияет предварительное облучение поверхности диэлектрических мишеней электронами
или ионами средних энергий.
Целью настоящей является было сравнение кинетики зарядки диэлектрических
образцов, подвергнутых предварительному воздействию электронов, а также ионов
инертного газа и металлических ионов различных энергий.