Виртуальный датчик потока и энрегии ионов на ВЧ электроде в высокочастотной плазме низкого давлениястатья

Работа с статьей


[1] Богданова М. А., Лопаев Д. В., Зырянов С. М. Виртуальный датчик потока и энрегии ионов на ВЧ электроде в высокочастотной плазме низкого давления // Сборник материалов всероссийской конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2014. — Т. 1 из ISBN 978-5-7882-1578-5 и ISBN 978-5-7882-1579-2. — Изд-во: КНИТУ Казань, 2014. — С. 311–314. Современная технология создания структур микро- и наномасштаба не обходится без процесса анизотропного ионностимулированного плазмохимического травления (RIE), который осуществляется в асимметричных вч разрядах низкого давления. Для настройки и осуществления контроля над этим процессом важно знание потока и энергетического спектра ионов на поверхности вч нагруженного электрода, однако, в современных реакторах нет возможности измерять его напрямую в режиме реального времени. Тем не менее, можно создать некую виртуальную диагностику, позволяющую наблюдать энергетический спектр ионов без его непосредственного измерения. Данная диагностика должна включать в себя расчёт энергетического спектра ионов и их потока в соответствии с простой физической моделью бесстолкновительного вч слоя и движения ионов в нём. Также, расчёт должен производиться в режиме реального времени на основе ряда внешних измеряемых параметров используемого разряда. Данная работа как раз посвящена созданию подобной виртуальной диагностики энергетического спектра ионов. Работа содержит модельные расчёты энергетического спектра ионов и их потока в аргоновой и водородной плазме в разных режимах, а также сравнение результатов с экспериментальными данными, полученными с помощью анализатора RFEA. Хорошее согласие расчётных и экспериментальных данных позволяет сделать вывод о том, что на основе используемой физической модели может быть разработана виртуальная диагностика энергетического спектра ионов. Кроме этого, в работе были произведены измерения потока ионов на поверхность вч электрода с помощью новой методики переменного автосмещения, не требующей измерений внутри плазмы. Результаты данных измерений показали довольно хорошее согласие с данными, полученными зондовым методом и анализатором RFEA.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть