|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Структура и оптические свойства тонких пленок оксида алюминия (Al2O3) после контакта с парами воды и после отжига в вакууместатья
- Авторы: Городецкий А.Е., Маркин А.В., Буховец В.Л., Рыбкина Т.В., Неволин Ю.М., Залавутдинов Р.Х.
- Журнал: Коррозия: защита материалов и методы исследований
- Том: 2
- Номер: 1
- Год издания: 2024
- Издательство: ИФХЭ РАН
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 87
- Последняя страница: 105
- DOI: 10.61852/2949-3412-2024-2-1-87-105
- Аннотация: Пленки оксида алюминия используются как слои с низким коэффициентом преломления в многослойных диэлектрических зеркалах, которые предполагается использовать в конструкциях оптических систем диагностики плазмы ИТЭР. В таких зеркалах пленка с низким коэффициентом преломления является внешним слоем. Помимо нормальных режимов работы ИТЭР предполагается ряд аварийных режимов, одним из которых является разрушение системы водяного охлаждения первой стенки, дивертора или бланкета. В этом случае вакуумная камера наполняется водяным паром, параметры которого зависят от локализации разрушения и от стадии работы реактора, в которой происходит авария. Максимальные параметры пара задаются специальной системой, которая ограничивает давление величиной 150 кПа, а максимальная температура 250°С может быть в случае, когда авария случается во время вакуумной тренировки камеры. В работе рассмотрены процессы взаимодействия водяного пара с аморфными пленками оксида алюминия, осажденными на стекло марки К-9 методом реактивного магнетронного напыления. Показано, что экспозиция пленки толщиной 300 нм при температуре 250°С и давлении пара 150 кПа в течение 2 часов сопровождается интенсивным гидроксилированием пленки и трансформацией всей массы оксидной пленки в гидроксиды. Это приводит к сильной деградации светопропускания, что может быть причиной изменения оптических свойств диэлектрического зеркала. В качестве продолжения работы планируется испытание в паре зеркал, в которых пленки с низким коэффициентом преломления будут чередоваться с пленками оксидов с высоким коэффициентом преломления, таких как оксиды гафния, тантала и циркония.
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович