|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Inductively Coupled Nitrous Oxide Plasma Etching of Parylene-C Filmsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 октября 2024 г.
- Автор: Kwon Kwang-Ho
- Журнал: Journal of the Korean Physical Society
- Том: 55
- Номер: 5(1)
- Год издания: 2009
- Издательство: Han'guk Mulli Hakhoe
- Местоположение издательства: Korea, Republic of
- Первая страница: 1836
- Последняя страница: 1840
- DOI: 10.3938/jkps.55.1836
- Добавил в систему: Шутов Дмитрий Александрович