Computer simulation of sputtering of (111) face of crystalline Si thin filmстатья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Работа с статьей


[1] Computer simulation of sputtering of (111) face of crystalline si thin film / V. A. Eltekov, V. E. Yurasova, N. N. Negrebetskaya, N. G. Vasichkina // Surface Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. — 1994. — no. 2. — P. 46–54.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть