Study of dual frequency RF and RF/DC Plasma Discharges Used for Surface Treatment

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

Study of dual frequency RF and RF/DC Plasma Discharges Used for Surface Treatmentстатья

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Авторы: Shishkin A.G., Stepanov S.V.
Сборник: Proceedings of International Conference on Gas Discharges and Their Applications
Том: 2014
Год издания: 2014
Место издания: Orlean
Первая страница: 1
Последняя страница: 4
Добавил в систему: Шишкин Алексей Геннадиевич