Влияние термического отжига на структуру скрытых слоев кремния с гелиевыми порами-пузырямистатья

Работа с статьей


[1] Влияние термического отжига на структуру скрытых слоев кремния с гелиевыми порами-пузырями / А. А. Ломов, А. В. Мяконьких, Ю. М. Чесноков и др. // XXVII международная конференция "Радиационная физика твердого тела". — 2017. — С. 78–88.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть