|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Анизотропное микро– и наноструктурирование пленок аморфного кремния фемтосекундными лазерными импульсамистатья
- Авторы: Заботнов С.В., Казанский А.Г., Кашкаров П.К., Павликов А.В., Преснов Д.Е., Романов И.А., Шулейко Д.В.
- Журнал: Ученые записки физического факультета Московского Университета
- Номер: 4
- Год издания: 2017
- Первая страница: 1740601-1
- Последняя страница: 1740601-8
- Аннотация: импульсами (1.25 мкм) приводит к формированию поверхностного рельефа в виде одномерных решеток с периодом 1.20±0.02 мкм, ориентация которых определяется направлением вектора поляризации использованного излучения и совокупной дозой экспозиции. В облученных областях пленок зарегистрировано присутствие нанокристаллической фазы кремния, объемная доля которой составляет от 40 до 67% согласно анализу спектров комбинационного рассеяния света. Наблюдаемые процессы микро- и наноструктурирования обусловлены возбуждением поверхностных плазмон-поляритонов и нанокристаллизацией в приповерхностной области соответственно в поле мощных фемтосекундных лазерных импульсов. Также в результате лазерной обработки с большой совокупной дозой экспозиции происходит формирование полиморфных модификаций кремния Si-III и Si-XII. В результате фемтосекундной лазерной нанокристаллизации пленки зарегистрированы рост проводимости на 3 порядка по сравнению с необлученной аморфной поверхностью и анизотропия данной величины, объясняемая неравномерным распределением интенсивности в поперечном сечении лазерного луча и анизотропией формы сформированного микрорельефа.
- Добавил в систему: Заботнов Станислав Васильевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Uchenyie_zapiski_2017.pdf | 1,2 МБ | 28 июля 2017 [zabotnov] |