CVD of AlN films and some of their propertiesстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Работа с статьей


[1] Cvd of aln films and some of their properties / B. V. Spitsyn, V. P. Stoyan, I. I. Kulakova, E. I. Kochetkova // Chemical Vapor Deposition. — 1997. — Vol. 5, no. 4. — P. 318–322. E.I.Kochetkova.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть