Reactive pathways of hydrogen and carbon removal from organosilicate glass low-k films by F atomsстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 21 октября 2017 г.

Работа с статьей


[1] Voronina E. N., Mankelevich Y. A., Rakhimova T. V. Reactive pathways of hydrogen and carbon removal from organosilicate glass low-k films by f atoms // European Physical Journal D. — 2017. — Vol. 71, no. 7. — P. 184. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть