Исследование технологических режимов радиационно-термической обработки на основе облучения высокоэнергетическими электронами для повышения радиационной стойкости субмикронных микросхемстатьяИсследовательская статья
Аннотация:Исследовано влияние радиационно-термической обработки на характеристики цифроаналогового преобразователя,изготовленного по технологическому процессу на основе комплементарных кремниевых структур металл–оксид–полупроводник с топологической нормой 0,35 мкм. Показано, что после проведения радиационно-термической обработки, включающей облучение электронами с энергией 6 МэВ дозой до 1000 кГр и термический отжиг облученных образцов при температуре 180 ◦Св течение 2 ч, комплекс электрических параметров цифроаналогового преобразователя сохраняется в рамках технических условий. Реализация режимов радиационно-термической обработки при дозах облучения от 1000 до 3000 кГр приводит к постепенному уменьшению амплитуды напряжения выходного сигнала, увеличению тока утечки и потере работоспособности образцов. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов создания субмикронных сверхбольших интегральных схем на объемном кремнии с повышенной стойкостью к одиночным радиационным эффектам.
