|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Управление вихреобразованием при выращивании трубчатых кристалловстатья Исследовательская статья
- Авторы: Верезуб Н.А., Простомолотов А.И.
- Журнал: Многофазные системы
- Том: 18
- Номер: 4
- Год издания: 2023
- Издательство: Федеральное государственное бюджетное научное учреждение Уфимский федеральный исследовательский центр Российской академии наук
- Местоположение издательства: Уфа
- Первая страница: 311
- Последняя страница: 313
- DOI: 10.21662/mfs2023.4.093
- Аннотация: Актуальными являются разработки непланарных технологий на основе монокристаллических трубок кремния малого диаметра, предназначенных для изготовления на их основе мощных силовых полупроводниковых приборов. Вытягивание из расплава трубок малого диаметра (35 мм) сопряжено со значительными трудностями в обеспечении необходимого вихреобразования внутри трубки. В данной работе использовалось малогабаритная установка Редмет-10, предназначенная для вытягивания монокристаллов кремния по Чохральскому. В конструкцию теплового узла этой установки были внесены существенные изменения с учетом результатов проведенного математического моделирования процессов гидродинамики, позволившие вырастить монокристаллические трубки кремния малого диаметра. http://mfs.uimech.org/2023/pdf/mfs2023.4.093.pdf
- Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Pages_from_mfs2023.4.pdf | 610,7 КБ | 26 января 2024 [aiprosto] |