|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
The influence of working gas pressure on interlayer mixing in magnetron-deposited Mo/Si multilayersстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 15 февраля 2024 г.
- Авторы: Pershyn Y.P., Gullikson E.M., Artyukov I.A., Kondratenko V.V., Sevryukova V.A., Voronov D.L., Zubarev E.N., Vinogradov A.V.
- Сборник: Advances in X-Ray/EUV Optics and Components VI
- Серия: SPIE Proceedings
- Том: 8139
- Год издания: 2011
- Место издания: SPIE
- Номер статьи: 81390N
- DOI: 10.1117/12.892324
- Добавил в систему: Артюков Игорь Анатольевич