Reflection microscope for actinic mask inspection and other progress in soft x-ray laser nano-imagingстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 15 февраля 2024 г.
-
Авторы:
Menoni C.S.,
Brizuela F.,
Carbajo S.,
Wang Y.,
Alessi D.,
Martz D.H.,
Luther B.,
Marconi M.C.,
Rocca J.J.,
Sakdinawat A.,
Chao W.,
Liu Y.W.,
Anderson E.H.,
Goldberg K.A.,
Attwood D.T.,
Vinogradov A.V.,
Artioukov I.A.,
LaFontaine B.
-
Сборник:
X-Ray Lasers 2010
-
Серия:
Springer Proceedings in Physics
-
Год издания:
2011
-
Издательство:
Springer Netherlands
-
Местоположение издательства:
Dordrecht, Netherlands
-
Первая страница:
359
-
Последняя страница:
370
-
DOI:
10.1007/978-94-007-1186-0_41
-
Добавил в систему:
Артюков Игорь Анатольевич