Исследование роли ионного (Н+) облучения конденсата в процессе CVD-формирования пленок нитрида боратезисы доклада

Работа с тезисами доклада


[1] Исследование роли ионного (Н+) облучения конденсата в процессе cvd-формирования пленок нитрида бора / Е. Н. Шулешов, М. Б. Гусева, В. В. Хвостов и др. // Труды IХ Mежнационального совещания “Радиационная физика твердого тела. — Т. 1. — Изд-во НИИ ПМТ М, 1999. — С. 338–342.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть