Surface mechanism for preferred sputtering of two-component targets

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

Surface mechanism for preferred sputtering of two-component targetsстатья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 сентября 2021 г.

Авторы: Bachurin V.I., Nikitin A.M., Samoylov V.N., Tatur A.E., Yastrzhembsky V.I.
Журнал: Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
Том: 58
Номер: 3
Год издания: 1994
Издательство: Allerton Press Inc.
Местоположение издательства: United States
Первая страница: 453
Последняя страница: 458
Добавил в систему: Самойлов Владимир Николаевич