Pixelated phase masks and their synthesisстатья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Работа с статьей


[1] Belokopytov G. V., Korotkova Y. V. Pixelated phase masks and their synthesis // MOSCOW UNIVERSITY PHYSICS BULLETIN. — 2007. — Vol. 62, no. 3. — P. 174–178. An approach to the design of holograms and masks for optical lithography is proposed on the basis of digitizing an image and dividing the sample into three phase components defined on a special bitmap. The equivalence conditions of the continuous and discrete methods of specifying a transmission function are studied. Computer modeling is used to reconstruct the images generated by means of the discrete phase masks synthesized. The locality principle has proven to hold: the transmission function at a given mask point is determined by the position of the nearest aperture. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть