Fraunhofer diffraction on polygon and calculation of binary mask imagesстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 февраля 2014 г.

Работа с статьей


[1] Belokopytov G. V., Ryzhikova Y. V. Fraunhofer diffraction on polygon and calculation of binary mask images // MOSCOW UNIVERSITY PHYSICS BULLETIN. — 2009. — Vol. 64, no. 2. — P. 146–148. A simple analytical formula for the spectrum of spatial harmonic components of a diffracted field is derived. It is used for construction of an effective algorithm of image calculation in photolithography. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть