Наномеханические системы с перестраиваемой частотой на основе подвешенных нанопроводов из нитрида кремния

Авторы: Дорофеев А.А., Михайлов П.О., Попов Андерей А., Преснов Д.Е., Трифонов А.С., Снигирев О.В., Крупенин В.А.
Сборник: Научная конференция "Ломоносовские чтения". Секция физики. Апрель 2023 года
Тезисы
Год издания: 2023
Издательство: Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 60
Последняя страница: 61
Аннотация: Наноэлектромеханические системы (НЭМС) сыскали широкое применение на передовых направлениях науки, благодаря своей высокой чувствительности к различным внешним воздействиям. В работе представлен уникальный метод изготовления НМР с близкорасположенными управляющими электродами. Произведены теоретические оценки значений собственных частот изготовленных НМР при различных температурах.
Добавил в систему: Дорофеев Александр Андреевич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА