|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Low-Energy Ion Technique for Semiconductor Surface Preparationстатья
- Авторы: Chebotarev S.N., Irkha V.A., Mohamed Adnan A.A.
- Журнал: Solid State Phenomena
- Том: 284
- Год издания: 2018
- Первая страница: 198
- Последняя страница: 203
- DOI: 10.4028/www.scientific.net/ssp.284.198
- Добавил в систему: Чеботарев Сергей Николаевич