О возможности использования емкостного ВЧ разряда в источниках плазмы с замкнутым дрейфом электроновстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science

Информация о цитировании статьи получена из Scopus
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.

Работа с статьей


[1] О возможности использования емкостного ВЧ разряда в источниках плазмы с замкнутым дрейфом электронов / И. И. Задириев, А. А. Рухадзе, Е. А. Кралькина и др. // Прикладная физика. — 2015. — № 6. — С. 57–60.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть