|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Experimental investigation of powder formation in SiF4-H2 and SiH4-H2 R.F. dischargesстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 25 апреля 2017 г.
- Авторы: Cicala G., Shakhatov V.A., De_Pascale O., Capezzuto P., Bruno G.
- Журнал: Plasma Sources Science and Technology
- Том: 8
- Год издания: 1999
- Издательство: IOP Publishing
- Местоположение издательства: [Bristol, UK], England
- Первая страница: 279
- Последняя страница: 284
- DOI: 10.1088/0963-0252/8/2/308
- Добавил в систему: Шахатов Вячеслав Анатольевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | G_Cicala_1999_Plasma_Sources_Sci._Technol._8_308.pdf | 361,7 КБ | 21 июля 2017 [shakhatov@ips.ac.ru] |