Механика дефектов в бездислокационных монокристаллах кремния

Верезуб, Н.А.; Простомолотов, А.И.

Авторы: Верезуб Н.А., Простомолотов А.И.
Журнал: Известия Российской академии наук. Механика твердого тела
Номер: 2
Год издания: 2023
Первая страница: 3
Последняя страница: 29
Переводные версии: Mechanics of defects in dislocation-free silicon single crystals
DOI: 10.31857/S057232992260061X
Аннотация: Задачи механики дефектов в бездислокационных монокристаллах кремния являются актуальными и технически значимыми в связи с интенсивным развитием микроэлектроники, которая предъявляет все более высокие требования по минимизации уровня микро- и нанодефектов в пластинах кремния, используемых для изготовления микроэлектронных чипов. Решение этих задач связано с изучением закономерностей термомеханических процессов как на стадии выращивания монокристаллов кремния, так и на последующих термообработках вырезаемых из них пластин. В статье дается обзор теоретических и экспериментальных работ, направленных на разрботку способов управления этими процессами. Это включает развитие физическихпредставлений о дефектообразовании в бездислокационном монокристаллическомкремнии и разработку математических моделей, соответствующих различным температурным диапазонам, реализуемым как при выращивании монокристалла, так и при термообработке, вырезаемых их него пластин. Так, вблизи температуры кристаллизации моделируются процессы быстрой рекомбинации и диффузионного переноса собственных точечных дефектов (вакансий и межузельных атомов кремния),а при более низких температурах моделируются процессы их агломерации в микродефекты (поры и кластеры межузельных атомов кремния). Иллюстрируется верификация таких моделей для двух экспериментальных процессов выращивания монокристаллов кремния диаметром 150 мм методом Чохральского, а также для процессабыстрой высокотемпературной термообработки вырезанных на их основе пластин кремния.
Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Механика дефектов в бездислокационных монокристаллах кремниястатья

Прикрепленные файлы