|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Statistical approach to choosing a strategy of monochromatic monitoring of optical coating productionстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K., Amotchkina T.V.
- Журнал: Applied optics
- Том: 45
- Номер: 30
- Год издания: 2006
- Издательство: Optical Society of America
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 7863
- Последняя страница: 7870
- DOI: 10.1364/AO.45.007863
- Аннотация: We presents what we believe to be a new approach to choosing a sequence of monitoring wavelengths for monochromatic monitoring of optical coating production. The new approach is based on a preproduction estimation of expected levels of errors in thickness of layers of a deposited coating. It is demonstrated that the proposed monitoring strategy reduces the effect of accumulation of thickness errors. An advantage of the new monitoring strategy becomes especially noticeable when the number of monitored layers is equal to several dozens. (c) 2006 Optical Society of America.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович