|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Computational experiments on optical coating production using monochromatic monitoring strategy aimed at eliminating a cumulative effect of thickness errorsстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Tikhonravov Alexander, Trubetskov Michael K., Arnotchkina Tatiana V.
- Журнал: Applied optics
- Том: 46
- Номер: 28
- Год издания: 2007
- Издательство: Optical Society of America
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 6936
- Последняя страница: 6944
- DOI: 10.1364/AO.46.006936
- Аннотация: We present an algorithm for the automatic generation of a monitoring spreadsheet that enables the most effective application of the termination level correction algorithm proposed in our previous publication. On a whole the presented monochromatic monitoring strategy entirely eliminates a cumulative effect of thickness errors in optical coating production using direct optical monitoring. The effectiveness of the new monitoring strategy is demonstrated by computational manufacturing experiments in which such error factors as instability of deposition rates, errors in measured transmittance data, shutter delays, and variations of layer refractive indices from their theoretical values are simulated. (c) 2007 Optical Society of America.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович