Аннотация:В работе выполнена имплантация ионов N+ и поочередная имплантация ионов Ar+ и N+ в титановый сплав ВТ6 со следующими параметрами: энергия ионов – -30 кэВ, дозы облучений – 1018 ион/см2, плотность ионного тока – 100 мкаА/см2. Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии проанализировано состояние компонентов в поверхностных слоях титанового сплава ВТ6 в исходном состоянии, после имплантации ионов N+ и поочередной имплантации ионов Ar+ и N+. Показано, что в условиях ионного облучения накопление азота и образование нитрида титана TiN сопровождается, особенно при поочередном облучении, окислением компонентов титанового сплава, в основном атомов титана, во всем анализируемом поверхностном слое. На основании литературных данных и результатов исследования обсуждаются причины окисления компонентов титанового сплава в условиях облучения.