Модификация поверхности кремния и кремниевых наноструктур под воздействием холодной плазмы атмосферного давления

Якунин, В.Г.; Тимошенко, В.Ю.; Преснов, Д.Е.; Савинов, В.П.; Покрышкин, Н.С.

Авторы: Якунин В.Г., Тимошенко В.Ю., Преснов Д.Е., Савинов В.П., Покрышкин Н.С.
Сборник: Необратимые процессы в природе и технике
Том: 1
Год издания: 2023
Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 287
Последняя страница: 290
Аннотация: Исследована модификация поверхности кремниевых структур с нанонитями под воздействием низкотемпературной плазмы атмосферного давления с использованием He и Ar в качестве плазмообразующих газов. Мощность созданного низкочастотного (30 кГц) источника плазмы не превышала 10 Вт. Кремниевые образцы с нанонитями облучали плазмой в различных режимах мощности и временных интервалов. Все облученные образцы, даже при минимальных мощностях и временах обработки, содержали нанонити в виде грибовидных образований, свидетельствующих об их разрушении. Предложен механизм деструктуризации нанонитей, аналогичный известному в литературе механизму деформации клеточной мембраны под воздействием приложенного внешнего электрического поля достаточной интенсивности.
Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Модификация поверхности кремния и кремниевых наноструктур под воздействием холодной плазмы атмосферного давлениястатья

Прикрепленные файлы