Ионно-пучковые методики ускорительного комплекса HVEE-500 НИИЯФ МГУстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] Ионно-пучковые методики ускорительного комплекса hvee-500 НИИЯФ МГУ / А. А. Шемухин, П. Н. Черных, В. С. Черныш и др. // Прикладная физика. — 2013. — № 5. — С. 59–62. Приведено описание введенного в эксплуатацию экспериментального комплекса HVEE-500 НИИЯФ МГУ, позволяющего исследовать поверхности и тонкие пленки с разрешением по глубине вплоть до 1-2 монослоев. В комплексе предусмотрена возможность проведения in situ экспериментов по взаимодействию ионных пучков с покрытиями и исследования их с применением ионно-пучковых методик. Имплантация ионов от 1 до 250 атомной единицы массы проводится в мишени с размерами до 150х150 мм с однородностью дозы по этой площади не хуже 99%. PACS: 29.27.-a Ключевые слова: ионная имплантация, резерфордовское обратное рассеяние, спектроскопия рассеяния ионов средних энергий, модификация и анализ поверхности.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть