PLASMA CHEMICAL SYNTHESIS OF AMORPHOUS HYDROCARBON FILMS ALLOYED BY SILICON, OXYGEN AND NITROGEN

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

PLASMA CHEMICAL SYNTHESIS OF AMORPHOUS HYDROCARBON FILMS ALLOYED BY SILICON, OXYGEN AND NITROGENстатья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus

Авторы: Grenadyorov A.S., Oskomov K.V., Solovyev A.A., Ivanova N.M., Sypchenko V.S.
Журнал: Russian Physics Journal
Том: 62
Номер: 7
Год издания: 2019
Издательство: Springer Nature
Местоположение издательства: Switzerland
Первая страница: 1199
Последняя страница: 1206
DOI: 10.1007/s11182-019-01835-4
Добавил в систему: Иванова Нина Михаиловна