|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Plasma parameters and active species kinetics in Cl2 + BCl3 + Ar gas mixtureстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
- Авторы: Efremov A.M., Smirnov S.A., Betelin V.B., Kwon K.H.
- Журнал: Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология
- Том: 65
- Номер: 3
- Год издания: 2022
- Издательство: Иван. химико-технол. ун-т
- Местоположение издательства: Иваново
- Первая страница: 14
- Последняя страница: 21
- DOI: 10.6060/ivkkt.20226503.6463
- Добавил в систему: Стамов Любен Иванович