|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Установка УИТ-3 для травления металлов, полупроводников и диэлектриков ионной бомбардировкойстатья
- Авторы: Спивак Г.В., Кушнир Ф.Ф., Юрасова В.Е.
- Журнал: Известия АН СССР. Серия физическая
- Том: 25
- Номер: 6
- Год издания: 1961
- Первая страница: 707
- Последняя страница: 712
- Добавил в систему: Юрасова Вера Евгеньевна