Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO2 : Sb при использовании скоростного сепаратора частицстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 14 августа 2017 г.

Работа с статьей


[1] Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок sno2 : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц / Л. С. Паршина, О. Д. Храмова, О. А. Новодворский и др. // Физика и техника полупроводников. — 2017. — Т. 51, № 3. — С. 426–430. Методом импульсного лазерного осаждения со скоростной сепарацией частиц на подложках кварцевого стекла без последующего отжига получены тонкие пленки SnO2 : Sb при различных условиях осаждения в диапазоне плотности энергии на мишени от 3.4 до 6.8 Дж/см2. Исследованы их оптические, структурные и электрические свойства. Установлено, что плотность энергии на мишени влияет на проводимость и пропускание пленок SnO2 : Sb. Определены оптимальные условия получения пленок бескапельным методом импульсного лазерного осаждения. Минимум удельного сопротивления 1.2·10-3 Ом·см наблюдался при плотности энергии на мишени 4.6 Дж/см2, температуре подложки 300oC и давлении кислорода в вакуумной камере в процессе осаждения 20 мТорр. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть