Аннотация:В нескольких проектах будущих интерферометрических гравитационно–волновых детекторовв качестве материала пробных масс рассматривается монокристаллический кремний. Для регу-лировки положения пробных масс предлагается использовать электростатические актюаторы. Ихэлектрическое поле приведёт к появлению дополнительных потерь и шумов в пробных массах, по-скольку кремний обладает конечной проводимостью. Разработанная экспериментальная установкапозволяет изучать эти потери на модели, состоящей из кремниевого дискового резонатора и распо-ложенного рядом электрода в диапазоне температур 100–300 К. На основании зависимости удель-ного сопротивления кремния от температуры была построена зависимость вносимых электрическимполем механических потерь от удельного сопротивления кремния, которая удовлетворительно со-гласуется с теоретической моделью. Полученные результаты позволят рассчитать механическиепотери, возникающие из-за воздействия электростатического поля актюаторов на пробные массы,и соответствующие шумы.