Использование фиктивных частиц при анализе рассеивающих свойств малозаметных дефектов подложкистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Аннотация:Предложена и реализована модификация метода дискретных источников, основанная на использовании «фиктивной» частицы. Подобный подход позволяет проводить эффективный численный анализ рассеивающих свойств наноразмерных дефектов подложки, таких как пологая ямка или пологий бугорок. Приведены численные результаты, иллюстрирующие возможности реализованного компьютерного модуля.