Угловые распределения атомов при распылении кремния ионами аргона низких энергийстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] Патракеев А. С., Черныш В. С., Шульга В. И. Угловые распределения атомов при распылении кремния ионами аргона низких энергий // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2003. — № 8. — С. 18–22.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть