Импульсное лазерное осаждение тонких пленок ITO и их характеристикистатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 27 сентября 2019 г.

Работа с статьей


[1] Импульсное лазерное осаждение тонких пленок ito и их характеристики / Д. А. Зуев, А. А. Лотин, О. А. Новодворский и др. // Физика и техника полупроводников. — 2012. — Т. 46, № 3. — С. 425–429. Методом импульсного лазерного осаждения выращены тонкие пленки оксида индия и олова (ITO)на подложках из кварцевого стекла. Проведены исследования структурных, электрических и оптических свойств пленок ITO в зависимости от температуры подложки, давления кислорода в вакуумной камере и концентрации олова в мишени. Прозрачность синтезированных пленок в видимой области спектра превышает 85%. Достигнуто минимальное значение удельного сопротивления 1,79.10-4 Ом.см в пленках ITO с содержанием олова 5 ат%.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть