Аннотация:Рассмотрены условия формирования поликластерных пленок алмаза и алмазоподобных углеродных пленок методами тонкопленочной технологии. Изучено строение пленок углеродных материалов методами электронной микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света и рентгеновской дифрактометрии