Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled dischargesстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.

Работа с статьей


[1] Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges / O. Braginsky, A. Kovalev, D. Lopaev et al. // Journal of Physics D - Applied Physics. — 2012. — Vol. 45, no. 1. — P. 015201–015201. A low-frequency capacitively coupled radio-frequency (rf) discharge in Ar excited at 1.76 MHz is studied both experimentally and theoretically. Experimental measurements of electron concentration, discharge voltage and current are presented for a wide range of rf input powers. The rf current shape is nonsinusoidal, close to the triangle one. The evolution of Ar(2p1) emission excitation function in the interelectrode gap during an rf cycle is measured using the phase-resolved optical emission spectroscopy technique. Theoretical study is based on the particle-in-cell Monte Carlo collision numerical simulation. Specific dynamic features of the low-frequency discharge are discussed. The important role of secondary electrons in discharge maintenance and power balance is shown. This study is crucial for understanding dual-frequency discharges with a corresponding value of low frequency. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть